LEYBOLD萊寶真空泵

安裝在泵體中的偏心轉子）有三塊葉片，它們把泵分成三個隔室，每個隔室的容積隨轉子的旋轉周期性的變化。

當轉子旋轉時，抽空腔的進氣部分容積擴大，將氣體從進氣口吸入，氣體經過空氣濾芯，打開的防返油閥進入腔泵。當轉子進一步旋轉，葉片從吸入口將泵腔部分分開。這部分泵腔容積減少，氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓時經過排氣閥從泵腔排出。

油在注入泵腔起密封、潤滑和泵冷卻的作用。壓縮氣體夾帶的油在油箱內由于折轉而被初步捕集。而后在出口油霧分離器中被*過濾。于是，排氣中油含量下降至低于可見程度。

注：SOGEVAC系列泵不能抽空侵蝕性、腐蝕性、易燃或易爆氣體。

LEYBOLD萊寶真空泵

研究與發(fā)展領域

所有工業(yè)品的生產與技術成果都必須經歷廣泛、高投入的研究與發(fā)展階段。只有經過仔細研究、測試和開發(fā)過程的新產品才能投入到生產或大規(guī)模應用中。

應用于各研發(fā)領域的真空設備、裝置及零備件，其尺寸和能力都是不同的。我們?yōu)闈M足這些研發(fā)用途而專門開發(fā)和生產特殊的專業(yè)產品。因此，我們能由始至終參與到客戶的整個生產工藝過程中，并獲得寶貴的經驗以使本行業(yè)的合作伙伴也能根本受益。

LEYBOLD萊寶真空泵

半導體技術領域

半導體行業(yè)正持續(xù)迅速的發(fā)展著，為能滿足客戶對產品和工藝快速不斷變化的需求，我們與客戶之間的溝通從未象今天這樣如此重要。

真空設備在所有半導體生產過程中發(fā)揮著極為重要的作用，針對特殊的生產要求必須選擇適合的真空設備。

過去的幾年里，為*半導體行業(yè)需求，我們縮短產品開發(fā)周期，更加迅速的推出新的產品，大大提高了我們的服務質量。